3、實(shí)驗(yàn)工作完畢時,若無人繼續(xù)使用,請關(guān)特殊氣體,保留N2流動, 爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān),如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關(guān)掉。
4、除了做實(shí)驗(yàn)外,不要停留在高溫氣氛爐管區(qū)?!?/div>
5、石英玻璃制品請小心使用,以免破裂,引起嚴(yán)重割傷。
6、請節(jié)約純水用量。
7、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
8、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時,請立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
9、破晶片、濾紙、棉花棒.......等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。
10、長短推桿之前端,在還沒使用到時,請朝上以免污染。
11、晶片進(jìn)出爐口時,承接boat的holder,請勿碰觸爐管口,以免污染爐管。